美国mks流量计G系列GE50A数字控制质量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNet I/o。数字控制电子设备利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定值做出快速、可重复的响应。典型的响应时间大约为500毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。

1、流速从5到50，000 sccm
2、氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或Kalrez的密封和阀塞选项
3、广泛选择数字(EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET和RS485)或模拟(0-5 VDC或4-20 mA) I/O
4、标准闭合电导泄漏率小于满量程的0.1%
5、小于750毫秒的建立时间

美国mks流量计G系列GE50A

型号	满量程流量范围	配件类型	密封材料	价格
GE50A013101RMV020	10 sccm	4 VCR male	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们
GE50A013102RMV020	100 sccm	4 VCR male	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们
GE50A013102SMV020	100 sccm	0.25 in. Swagelok-style	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们
GE50A013103RMV020	1000 sccm	4 VCR male	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们
GE50A013103SMV020	1000 sccm	0.25 in. Swagelok-style	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们
GE50A013201RMV020	20 sccm	4 VCR male	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们
GE50A013202RMV020	200 sccm	4 VCR male	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们
GE50A013203RMV020	2000 sccm	4 VCR male	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们
GE50A013204RMV020	20000 sccm	4 VCR male	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们
GE50A013204SMV020	20000 sccm	0.25 in. Swagelok-style	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们
GE50A013501RMV020	50 sccm	4VCR Male	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们
GE50A013502RMV020	500 sccm	4 VCR male	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们
GE50A013503RMV020	5000 sccm	4 VCR male	15-pin D-sub (tied grounds)	联系我们

规范

类型	质量流量控制器	跨度温度系数	读数的% 3c 0.08%/C
控制范围	满量程的2%至100%	入口压力系数	读数的%3C0.02%每平方英寸
满量程流量范围	5 – 50，000 sccm	典型建立时间	%3C750毫秒，典型值高于满量程的5%
密封材料	氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或Kalrez	预热时间	30分钟
模拟连接器	9引脚或15引脚D-sub minimum	工作温度	10摄氏度至50摄氏度
最大入口压力	150磅/平方英寸	储存湿度	0至95%相对湿度，非冷凝
正常工作压差	10到5000 sccm10至40 psid，10000至20000 sccm15至40 psid，30000至50000 sccm25至40磅/平方英寸	储存温度	-20至80摄氏度
耐受压力	1000磅/平方英寸	通过关闭的阀门泄漏完整性	高达10K阀门%3C0.1%的40 psig大气压力下的FS，20K – 50K阀门%3C1.0%的40 psig大气压力下的FS
破裂压力	1500磅/平方英寸	通过关闭的阀门泄漏完整性
典型精度	20至100%满量程时为设定值的1 %, 2至20%满量程时为满量程的0.2%	湿材料	316L不锈钢VAR、316不锈钢、埃尔吉洛伊镍
可重复性	读数的0.3%	表面抛光	16英寸平均半径
解决	满量程的0.1%	重量	3磅(1.4千克)
零温度系数	%3C0.05%满量程/℃	服从	英国国教会

特征

数字输入输出	DeviceNet	RS485	过程现场总线（process field bus的缩写）	以太猫	PROFINET
所需输入功率	+11至+25伏直流电每(%3C2瓦)	+15至+24伏直流电(%3C2瓦)	+15至+24伏直流电(%3C2瓦)	+24伏直流电(%3C3瓦)	+24伏直流电(%3C3瓦)
连接器	5针微型连接器(电源和通信)	9针D型公接头(电源和通信)	9针D型公接头(电源) 9针D型内螺纹(通用)	2个RJ-45(通信)男性，M8男性， 5针(电源)	2个RJ-45(通信)男性，M8男性， 5针(电源)
数据速率切换/选择	4个位置:125，250，500K(默认) (可通过网络编程)	无开关通过RS485设置数据速率	无开关通过Profibus设置数据速率	没有开关	没有开关
商业汇率	125 Kbps250 Kbps500 Kbps	9.6 Kbps19.2 Kbps 38.4 Kbps	9.6 Kbps至12 Mbps	100 Mbps	100 Mbps
MAC ID交换机/地址	2个开关，10个位置；0.0到6.3 1到254	通过RS485站地址0，0至9，9设置地址	2个开关，10个位置	3个开关，16个位置	不适用的
网络规模	多达64个节点	多达32个节点	多达99个节点	多达4095个节点	不适用的
视觉指示器	LED网络(绿色/红色) LED模块(绿色/红色)	LED通信(黄色) LED错误(红色)	LED通信(绿色/红色) LED错误(绿色/红色)	LED电源(绿色) LED运行(绿色) LED错误(红色) LED通信(绿色)	LED维护(琥珀色) LED总线故障(红色) LED就绪(绿色) LED系统故障(红色)
服从	英国国教会	英国国教会	英国国教会	英国国教会	英国国教会

广泛的数字和模拟接口选择

GE50A数字控制MFC可提供模拟或数字I/O。数字控制电子设备利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点提供快速和可重复的响应。典型的响应时间大约为500毫秒。GE50A的模拟和数字I/O可轻松用于替换1179A MFCs的相同I/O类型。所有GE50As都包括Modbus作为可用的辅助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。

标准3英寸尺寸

GE50A采用标准的3英寸尺寸，最常用于5 sccm至50 slm流速范围内的MFC，无需修改现有的气体管线配置即可使用。

所有金属浸湿表面

GE50A的设计采用了最少的弹性体。只有一个外部弹性体密封和弹性体阀塞。否则，所有润湿表面都是金属的。GE50A标配氟橡胶密封件，以及丁腈橡胶、氯丁橡胶、EPMD或Kalrez可选件，允许该装置用于需要这些替代件之一的气体

设定值准确度的百分比

对于20%至100%的全刻度流量范围，包括的数字校准产生1%的设定点精度，使用N2校准气体。设定点精度可实现精确的过程控制，相对于满量程精度而言。对于2%至20%满量程的质量流量，精度为满量程的0.2%。

嵌入式用户界面

嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而降低了库存需求。您还可以监视MFC功能并就地收集性能数据。

专利热传感器

成熟的专利热传感器设计提供了卓越的零点稳定性。美国专利号5461913。

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。